雙軸壓電平台

系列簡介

把兩個單軸平台疊起來做 XY 運動，會同時疊加兩份誤差與兩份慣量。雙軸壓電平台在單一框架內完成 XY 定位：更低的形變、更高的共振頻率、真正的平面內奈米精度。

技術特點

• 單體框架整合雙軸，無堆疊誤差
• 中央開孔，穿透光路直接通過
• 行程 16–200 µm 多種規格
• 電容感測閉迴路選配
• 12V 低壓 D12 版本免高壓放大器

典型應用

• 顯微掃描與樣品定位
• 晶圓與光罩對位
• 光子元件耦合對準
• 掃描探針顯微（SPM）平面掃描

選型與支援

選型關鍵：行程、開孔尺寸、動態需求與驅動電壓架構。拿順為 piezosystem jena 台灣總代理，提供中文技術支援、選型評估與原廠報價——歡迎將您的應用條件加入詢價單，或直接與我們聯繫。